問題一覧
1
單位時間內脫離材料表面的氯化分子與從真空腔中返 回材料表面再吸附的分子數平衡,此時的蒸氣壓稱為
飽和蒸氣壓
2
當材料處於真空環境中時,會因外在壓力與溫度條件 釋出所固溶或吸附的氣體分子,此一釋出氣體分子的現象稱為?
逸氣
3
真空系統結構元件包括腔體、管件等,其主要要求不 包括?
多孔結構
4
何種材料蒸氣壓最低
金屬
5
渦輪幫浦敘述,何者為非?
儲氣式幫浦
6
真空環境中氣體分子平均自由徑大代表?
壓力低
7
1大氣壓的氣體型態是?
黏滯流
8
幫浦之抽氣速率常用單位,何者為非?
m²/h
9
對於一個真空系統而言,氣體的來源可分為?
以上皆是
10
隨著真空腔體內氣體壓力變小,腔體內氣體分子之平均自由徑(mean free path)?
變大
11
下列那一型直空幫浦不能在大氣壓力下直接啟動運轉
渦輪分子幫浦
12
何者不是真空腔體常用的材料?
水銀
13
何種幫浦是利用表面吸附的原理以達到抽氣的作用
以上皆是
14
氣體分子在運動時,各個分子在碰撞到其他分子前, 所行走之距離的平均值稱為?
平均自由徑
15
在已知時間中通過一平面的氣體的量稱為?
氣流通量
16
為了達到超高真空,一般以何種方法去除這些水氣
烘烤
17
在高真空環境時,相較於低真空何者為非
氣體屬黏滯流
18
渦輪分子幫浦何種氣流狀態時,會有較好的抽氣性能
分子流
19
何者不是渦輪分子幫浦的性能規格?
質量
20
何者不是儲氣式幫浦的工作原理?
高溫昇華
21
運用電場作用,將被離子化了的氣體分子吸出真空腔 室,再利用結拖(getter)材料與氣體分子化合而儲存於幫浦,是屬於何種幫浦
離子幫浦
22
何種真空計數屬於直接量測?
壓力天平
23
利用加熱之燈絲產生熱電子,並經由電場加速成為帶 有充分能量之電子,再撞擊氣體分子使其離子化;由 氣體分子離子化之比率估算出剩餘氣體分子之數量, 進而推導出真空度的真空計是?
熱離子真空計
24
何者儀器不屬於真空度量使用?
流量計
25
下述何為氦氣測漏儀的工作壓力?
0.00001 Torr
26
腔體逸氣率跟何者有關?
以上皆是
27
何者不是壓力的單位?
sccm
28
空氣中含量最多的氣體是?
氮氣
29
真空系統通入並可控制氣體的儀器為何?
流量計
30
何者為低真空幫浦?
魯氏幫浦
31
真空的英文拼音為何?
vacuum
32
國際標準(SI)壓力單位為Pa(Pascal)。一大氣壓(1atm)為 多少Pa?
101325
33
超高真空系統指系統中的氣壓應低於多少值?
1E-7Pa
34
常溫(25℃)下,氮氣(N₂)的速度約為多少m/s?
473
35
氣體分子的運動速度與分子質量的關係是
開根號成反比
36
氣體分子的運動速度與環境的絕對溫度(Kelvin)的關係 是
開根號成正比
37
根據理想氣體方程式PV=nRT,想把一個小氣球變大, 以下答案何者可行
把氣球丟到保鮮罐抽氣
38
當氣體分子接近材料表面時被吸附,概分為物理吸附與化學吸附兩種。以下描述何者不正確
化學吸附可利用烘烤氣體使氣體吸附
39
以下哪個氣體分子於常溫下吸附在金屬材料表面所滯留的時間最短
氬氣
40
渦輪分子幫浦的高速運轉靠對氣體分子的壓縮比來排氣,以下哪個氣體效能最低?
氫氣
41
離子幫浦靠放電方式將氣體分子游離抽氣,則能夠啟動抽氣作用的最高氣壓為何?
0.01Pa
42
旋翼(Vane)式油封幫浦可由一大氣壓抽氣,其排氣的原理在以下的答案中哪個不正確
靠油的高蒸氣壓
43
乾式機械幫浦抽氣時因轉子間無油封的密封度,但較油封式幫浦有優勢,以下原因何者不正確
轉子不用散熱
44
以下哪一個幫浦可在一大氣壓抽氣?
乾式幫浦
45
一般高真空系統處在分子流狀態抽氣,以下哪個幫浦不適用
魯氏幫浦
46
以下哪個幫浦不抽氬氣
鈦昇華幫浦
47
冷凍幫浦對於氫氣的抽氣原理為
低溫捕獲
48
下列何者不屬於機械幫浦運作方式
分子篩吸收
49
那一種幫浦常用作高低真空的連接送風系統?
魯氏幫浦
50
下列何者不是冷凍幫浦的抽氣方式?
改變動量
51
一個密閉的真空系統若要知道內部是否為真空狀態, 最好安裝何種真空計?
熱導式真空計
52
真空系統中使用材料的選擇,以下何者與氣壓無關
材料導電度
53
不銹鋼高真空腔使用Conflat(有刀口)金屬法蘭時應使用 哪種材料的密封墊圈
無氧銅
54
圓形Conflat金屬法蘭有多種標準規格,以下何者不是
135CF
55
一般高真空系統使用機械導引傳送樣品,其傳動部位 真空界面的密封方式以下何者不可行?
滾珠軸承
56
電導引元件使用的絕緣陶瓷與金屬管或法蘭之間的焊接一般使用哪種方式
真空硬焊
57
真空軟管(Bellows)在真空系統中的用途,以下何者不正確?
吸收法蘭螺孔旋轉對位之偏差
58
能夠靠與氣體分子產生化學吸附鍵結作用來達到抽氣 效能的材料多為何種元素
鈦
59
真空法蘭封合的原理主要靠鎖螺絲逼緊密封接觸面以 隔離大氣的氣體分子滲透到真空端。以下條件何者不 正確?
不能有水漬
60
一樣長度的成型軟管(Formed Bellows)與銲接軟管 (Welded Bellows)哪一個伸縮量較大?
焊接軟管
61
下列何者是選擇鋁合金為真空腔體材料的缺點
焊接難易度
62
下列何種化學物質不用於真空元件之化學清洗?
醋酸
63
不銹鋼CF法蘭,通常以下列哪一項為其墊圈
無氧銅墊片
64
以下哪一種幫浦組合可由一大氣壓抽氣並有機會達到超高真空
渦輪分子幫浦+乾式幫浦
65
真空系統要破真空到一大氣壓才能打開法蘭,應利用 以下何種真空閥
可調漏氣閥
66
設計真空系統以達到預期的真空氣壓,以下何種因素 是關鍵
真空材料表面釋氣率
67
要檢測真空系統是否有漏氣,以下何種方法不可靠?
塗抹泡沫法
68
氣壓增建法(Pressure Buildup Method)實驗的好處為:
估算系統釋氣率或漏氣率
69
使用氣動真空閥的好處,以下何者不正確?
不需要電力驅動
70
一個差分抽氣(Differential Pumping)系統需依不同部位 「的局部氣壓範圍來選用幫浦,主要是哪類幫浦?
機械幫浦
71
超高真空系統以使用全金屬的材料為主,其原因以下 何者不正確?
好加工成型
72
氣壓增建法(Pressure Buildup Method)實驗的公式為:
Q=V(dp/dt)
73
真空系統由一大氣壓開始抽真空到後來氣壓下降變慢,要花十倍的時間氣壓才減為1/10,此抽氣趨勢的主要 原因為何?
腔體內水釋氣
74
維護真空系統要充填氣體到一大氣壓時,最好使用何種氣體?
超高氮氣
75
維護真空系統若要使用氦氣測漏儀測漏時,測漏儀最好接哪個位置?
前級粗抽機械幫浦前端
76
下列對真空度的描述何者是正確的
高真空表示低壓力
77
下面對於真空壓力單位的描述何者錯誤?
1mbar=1.33Torr
78
下面對於一大氣壓(1atm)的描述何者錯誤?
1atm=133Pa
79
在760至100 Torr間真空度為何?
低真空
80
小於10‐⁷Pa的真空度一般稱之為何?
超高真空
81
以動量移轉來輸送氣體的幫浦為何
渦輪分子幫浦
82
下列何種幫浦為吸附型真空幫浦?
低溫幫浦
83
下列何種幫浦為機械式真空幫浦?
魯氏幫浦
84
在真空系統中抽氣速率下降的原因可能為何?
漏氣發生
85
做為初始真空(粗真空)的抽氣幫浦為?
機械幫浦
86
冷凍幫浦為提高抽氣效果,下列何者不是其採用的作用 機制
低溫壓縮
87
下圖為一真空幫浦之抽氣速率曲線,依據其特性曲線,請問該類型幫浦適用於哪個階段的真空抽氣程序?
中低真空
88
下圖為一真空幫浦抽氣速率曲線,依據其特性曲線,請問該類型幫浦適用於哪個階段的真空抽氣程序?
高真空
89
高真空系統設計時,在進行真空幫浦之形式與大小之選用時,下列何者不是需要考慮的因素
產品的形狀與尺寸
90
真空計為能測量低於大氣壓力之氣體壓力的裝置,而部 分的壓力顯示與氣體性質有關,請問下列何種真空計之壓力顯示與氣體性質有關
熱傳導真空計
91
用來量測高真空及超高真空的真空計為何?
離子真空計
92
在真空鍍膜製程應用中,適合選擇何種類型的真空計作為製程真空度的控制
電容式真空計
93
真空計的校正方法中之比較校正法是以參考真空計作 為標準器來與待校真空計做比較性的量測比對,請問下列何者真空計不適合做為真空標準器?
熱傳導真空計
94
真空系統設計時在材料選用上,下列何者特性不屬於材料本質的真空性能
表面吸附
95
真空系統結構元件,如腔體、管件等,在下列選項中,何 者不是主要的要求項目
多孔性結構
96
一般條件下,金屬的蒸氣壓都很低,但下列何種金屬因在低壓高溫下具有較高的蒸氣壓而不適用於真空系統中?
鋅
97
橡膠彈性佳,是真空中可拆卸封合材料的最佳選擇之一, 除了彈性之外需選用含硫少、耐油,並適用於一定工作溫度範圍之材質,下列何種真空橡膠材料適用於高溫的 高真空環境
維通
98
在不考慮漏氣率時,影響超高真空系統真空度之氣體主要來源為真空腔體表面之逸氣,超高真空系統需要
使用低逸氣率材料
99
在不考慮漏氣率時,影響超高真空系統真空度之氣體主 要來源為真空腔體表面之逸氣,因此下列何種形狀之真空腔體適合於超高真空系統
以上均可
100
使用於超高真空系統之材料,除了一般真空系統須考量 的因素,如機械強度、易加工銲接、耐酸鹼之外,更須符合低逸氣率及耐高溫烘烤,下列何種材料不適用於超 高真空系統
碳鋼