問題一覧
1
下列何者不是電漿的用途
液相磊晶
2
要檢測真空系統是否有漏氣，以下何種方法不可靠
塗抹泡沫法
3
真空蒸鍍及濺鍍易形成那類型薄膜
非晶態薄膜
4
下列那種不是常用引發電漿的電源供應器
遠紅外線
5
何謂真空真空定義？
一容器內的壓力低於大氣壓
6
在直徑1米的真空腔中，抽真空到低於多少氣壓時氣體分子平均自由勁大於真空腔直徑
0.05mTorr
7
下列何者不是電漿的特性
人造電漿游離率可達100%
8
絕緣材料與金屬接合時 選擇使用的金屬考慮點主要為何
熱膨脹係數與絕緣材料相近
9
真空系統抽氣受到抽氣管路氣導的限制，以下的答案中哪一項最嚴重
分子流
10
真空計的測量方式通常可分為直接測量及間接測量兩種 下列何種真空儀表的量測方式是屬於間接測量
以上皆是
11
真空系統中氣體分子由氣壓高流動到氣壓低的通量與氣導的關係為
Q=C(P1-P2)
12
下列何種選擇無氧銅為真空腔體材料的優點
導熱性
13
國際上真空度使用的通用單位為何
Pa
14
真空系統中使用材料的選擇，以下何者與氣壓無關
材料導電度
15
真空蒸鍍時為減少真空系統中殘留水氣分子的吸附滲入膜層，改善的辦法哪個較有效？
先均溫烘烤真空腔抽除水氣
16
賽貝克效應現象為何
異種金屬間因溫差產生電動勢
17
以下哪種材料因蒸氣壓高而不適用於真空系統
鋅
18
一個差分抽氣系統需依不同部位的局部氣壓範圍來選用幫浦，主要是那類幫浦
機械幫浦
19
何種真空計可設計為單純機械式
真空錶
20
下列何者為無氧銅為真空腔體材料的缺點
焊接難易度
21
鋁合金焊接前 下列何者為最後一道程序
刮除氧化層
22
下列何者是選擇不鏽鋼為真空腔體材料的缺點
重量
23
O-ring不適合用在超高真空系統 是因為
釋氣嚴重
24
何者為儲氣式幫浦
冷凍幫浦
25
高真空範圍內氣體含量以何為主
H2O
26
真空用油脂不適合用在下列場合
以上皆是
27
常溫下100cm,內徑4cm真空圓管的氣導約為多少L/s
10
28
當真空系統以100L/s幫浦抽真空，但因系統有漏氣使得最低氣壓停留在2E-7mbar 則系統漏氣率約為多少？
2E-5 atm cc/s
29
以下何者為是
真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標
30
想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦？
乾式幫浦
31
下列何種非金屬材料常見與真空中
Viton
32
A1鋁陽極處理後 釋氣率
變差
33
國際標準壓力單位為Pa 一大氣壓為多少Pa
1011325
34
一個真空腔體體積連接抽氣速率的幫浦抽氣 則體積抽氣所需時間常數約估算為
V/S
35
粉末治金可否用在高真空
不可
36
常溫25度下氮氣的速度約為多少m/s
473
37
下列何者是計算德拜長度需要的參數
電子溫度
38
結構性金屬薄膜材料 硬質膜成膜方式是下列何者為非
陽極
39
鋁合金焊接前下列何者為第一道程序
鹼洗
40
下列何者是常用於真空中的非金屬材料
陶瓷（氧化鋁等）
41
常溫下氫氣的速度為氧氣的多少倍
4
42
下列哪一項結合方式不會用在金屬真空腔腔體及其零件之製作上
真空膠黏合
43
軟質金屬有何特點
低磨擦係數
44
一般高真空系統常使用O-Ring軟墊圈，以下哪個缺點較討厭
會滲透氦氣
45
達到高真空系統所需的真空計組合為何？
熱電偶真空計+冷陰極真空計
46
真空材料選擇主要因素
釋氣量多少
47
下列何者為薄膜材料
以上皆是
48
下列何種金屬材料少見於真空中？
鑄鐵
49
下列何者是選擇鋁合金為真空腔體材料的缺點
焊接難易度
50
人造電漿的電子溫度約為幾伏特
幾伏特
51
下列哪一項不會被用作於真空法蘭的電圈
不鏽鋼環
52
何者為排氣式幫浦
魯氏幫浦
53
超高真空腔使用Conflat金屬法蘭及配合的密封金屬墊圈，為了烘烤不漏氣，兩種金屬材質需有一個相近的特性為何
熱膨脹係數
54
下列何者可用於真空中隔離高電壓
陶瓷
55
真空系統由一大氣壓開始抽真空到後來氣壓下降速率變慢，主要是那種釋氣分子的影響
水氣
56
不銹鋼高真空使用Conflat金屬法蘭時應使用那種材料的密封墊圈
無氧銅
57
真空系統組成的要件，下列何者為非
真空閥
58
下列何種化學物質沒有被用在金屬真空元件之清潔
鹽酸
59
在SI制中抽氣速率的單位為何
m³/s
60
下列何種真空儀表是籍由高電壓解氣體分子形成離子，再利用偵測氣體分子解離的離子數目來推測真空環境中所含的氣體量，間接求出壓力值
冷陰極離子真空計
61
真空度的物理單位顯示為何
力／單位面積
62
下列何者不是冷凍幫浦的抽氣方式
改變動量
63
鋁合金焊接前 下列程序何者不需要
退火
64
下列何種金屬材料常見於真空中
304不繡鋼
65
真空系統抽真空時，腔體表面吸附的氣體分子脫附離開的方向與表面的夾角多趨近幾度
90度
66
A1鋁比SUS不鏽鋼適用在超高真空 主要原因為
含氫量少
67
氣壓增建法實驗的好處為
估算系統釋氣率或漏氣率
68
在SI制中，氣流的單位為何？
（Pa.m³)/s
69
圓形的Conflat金屬法蘭有多種標準規格，以下何者不是
135CF
70
下列哪一項接合方式，不是永久性接合
CF法蘭
71
材料在真空之適用性 主要以何為
釋氣量
72
下列何者是選擇鋁合金為真空腔體材料的優點
加工速度
73
下列何種化學物質會用於真空元件之化學清洗
氫氧化鈉
74
在利用氬氣產生電漿製程的真空系統，以下哪個幫浦不適用
離子幫浦
75
下列何者為常用的TCO薄膜材料
ITO
76
將一個抽氣300L/s的幫浦以一根100cm,內徑4cm的真空圓管抽連結真空腔抽真空，則真空腔的有效抽氣速率約為多少L/s
10
77
破壞性干涉是把抗反射膜的厚度控制在可見光波長的多少便可產生破壞性干涉
1／4
78
下列何者非等值換算單位
760 mbar
79
一般高真空系統使用機械導引傳送樣品，其傳動部位真空介面的密封方式以下何者不可行
滾珠軸承
80
下列哪一項不是封合真空法蘭的墊圈
橡皮筋
81
測量高真空所需的真空計為下列何者？
彭甯冷陰極真空計
82
金屬閥件內 何者最易受酸鹼腐蝕
焊接處
83
真空中平均自由徑越長代表
氣體壓力越低
84
選擇耐磨損膜層之條件下列何者為非
高摩擦係數
85
真空系統中若氣體流動形成黏滯流狀態時，氣體分子的平均自由徑約為腔體的幾倍
0.01
86
真空系統抽真空到1mTmorr時，腔體內材料表面覆蓋一層氣體分子約需多少時間
0.001秒
87
下列四種金屬何者TCR最大
銀
88
旋翼式油封幫浦可由一大氣壓抽氣，其排氣的原理在以下的答案中哪個不正確
靠油的高蒸電壓
89
維護真空系統若要使用氦氣測漏時，測漏儀最好接哪個位置？
前級粗抽機械幫浦前端
90
真空系統抽真空時，主要氣體來源就以下列答案中哪一個很難避免
材料釋氣
91
何者為高真空幫浦
冷凍幫浦
92
人造電漿的德拜長度約為多少
0.1公厘
93
在SI制中，氣導的單位為何
m³/s
94
何者非真空計常用的單位
atm
95
金剛石薄膜維式硬度HV值可達
10000
96
溫度攝氏20度，壓力為750Torr時，氣流型態為何
黏滯流
97
真空連結一個2000L/s抽氣幫浦的圓形短管，想要提高短管的氣導，以下答案使用的方法哪個可以得到最高的管路氣導？
短管直徑加倍
98
一樣長度的成型軟管與焊接軟管哪一個伸縮量較大
焊接軟管
99
人造電漿的電子密度約為多少
每立方公分1E10個
100
下列何種真空儀表適合用来量測1x10‐⁵Torr~ 1×10‐7Torr範圍的壓力值
離子真空計