問題一覧
1
206
Hole blind 盲孔
2
245
OD Fin Damage 氧化層翅損傷
3
121
Logic W Seam 邏輯W接縫
4
254
Cu Damage 銅損傷
5
125
Anneal Particle 退火微粒子
6
133
SiGe Abnormal 矽鍺異常
7
225
Cu_loss 銅＿損失
8
169
Selectivity loss _SW 選擇性損失＿開關
9
135
Volcano 火山
10
143
HK Missing HK遺失
11
205
Particle: 微粒子：
12
204
Pat_abnormal 模式異常
13
162
Polymer residue 聚合物殘留
14
138
Metal Residue 金屬殘留
15
277
SIP Wavy 系統封裝波浪狀
16
194
OD1_Patnfail OD1_模式失敗
17
282
W pits MG Missing W凹坑MG缺失
18
127
Seal Ring Remain 封環殘留
19
193
OD1_Patnfail_LIT OD1_模式失敗_黃光微影
20
197
OD34_Patnfail OD34_模式失敗
21
279
EPI Pits 晶體凹坑
22
163
Over Polish _SRAM 過度拋光＿SRAM
23
130
SiGe Pitting 矽鍺凹陷
24
176
Anti_growth 抗生長
25
141
Poly Remain 聚焦殘留
26
198
W Seam W接縫
27
272
NN Merge NN合併
28
271
Pattern Fail ba Ball 球型模式失敗
29
263
Ox-residue 氧化物殘留
30
171
selectivity loss_P 選擇性損失＿P型
31
248
Single residue 單個殘留物
32
262
Tiny Pits 微小凹坑
33
296
HM_residue_LIT HM_殘留物_黃光微影
34
293
Protrusion 突出
35
173
SIP abnormal 系統封裝異常
36
290
OD1AB _ Condense OD1AB_凝結
37
270
OD Hump 氧化層凸起
38
164
Poly residue 聚焦殘留
39
156
MG Missing MG缺失
40
128
Striation 條紋
41
137
PR Peeling 光阻剝離
42
159
Pattern fail _ETC 模式失敗－蝕刻
43
269
Line merge 線合併
44
150
Line Collapse 線路崩潰
45
291
Even/Odd Bridge 偶數／基數橋接
46
160
Pattern fail _ Remain 模式失敗殘留
47
281
EPI pits MG Missing 晶體凹坑金屬甲極缺失
48
142
Bridge PA 橋接層
49
120
Nike extrusion 型號擠壓
50
244
OVL Shift 覆蓋位移
51
170
selectivity loss_N 選擇性損失＿N型
52
267
Circle Bridge 圓形橋接
53
168
Line -end residue 線端殘留
54
132
SiGe Missing 矽鍺缺失
55
203
Residue 殘留物
56
273
PP Merge PP合併
57
144
SN residue 二氧化矽殘留
58
230
Patnfail _ETC 模式失敗＿蝕刻
59
238
Under Etch 下蝕刻
60
190
poly damage 聚焦損傷
61
167
Small volume 體積小
62
175
Lateral growth 橫向生長
63
207
Nuisance 疊贅
64
187
damage _line 線損傷
65
149
MG Extrusion MG擠壓
66
289
Pattern Missing 模式缺失
67
129
Single Cu Loss 單一銅耗損