問題一覧
1
120
Nike extrusion 型號擠壓
2
121
Logic W Seam 邏輯W接縫
3
123
Poly Twist 聚焦扭曲
4
125
Anneal Particle 退火微粒子
5
127
Seal Ring Remain 封環殘留
6
128
Striation 條紋
7
129
Single Cu Loss 單一銅耗損
8
130
SiGe Pitting 矽鍺凹陷
9
132
SiGe Missing 矽鍺缺失
10
133
SiGe Abnormal 矽鍺異常
11
135
Volcano 火山
12
136
Silk remain 絲綢殘留
13
137
PR Peeling 光阻剝離
14
138
Metal Residue 金屬殘留
15
140
Line -end bri 線端斷裂
16
141
Poly Remain 聚焦殘留
17
142
Bridge PA 橋接層
18
143
HK Missing HK遺失
19
144
SN residue 二氧化矽殘留
20
149
MG Extrusion MG擠壓
21
150
Line Collapse 線路崩潰
22
156
MG Missing MG缺失
23
158
N-MG Pits N型－MG凹坑
24
159
Pattern fail _ETC 模式失敗－蝕刻
25
160
Pattern fail _ Remain 模式失敗殘留
26
162
Polymer residue 聚合物殘留
27
163
Over Polish _SRAM 過度拋光＿SRAM
28
164
Poly residue 聚焦殘留
29
167
Small volume 體積小
30
168
Line -end residue 線端殘留
31
169
Selectivity loss _SW 選擇性損失＿開關
32
170
selectivity loss_N 選擇性損失＿N型
33
171
selectivity loss_P 選擇性損失＿P型
34
172
SIP Hump 系統封裝凸起
35
173
SIP abnormal 系統封裝異常
36
174
SIP missing 系統封裝缺少
37
175
Lateral growth 橫向生長
38
176
Anti_growth 抗生長
39
179
SIGE Damage 矽鍺損傷
40
184
CMD Pattern fail 控制模式失敗
41
186
Horn _edge 角邊
42
187
damage _line 線損傷
43
190
poly damage 聚焦損傷
44
193
OD1_Patnfail_LIT OD1_模式失敗_黃光微影
45
194
OD1_Patnfail OD1_模式失敗
46
196
OD2_Patnfail OD2_模式失敗
47
197
OD34_Patnfail OD34_模式失敗
48
198
W Seam W接縫
49
199
cluster _W Loss 簇群＿W損失
50
203
Residue 殘留物
51
204
Pat_abnormal 模式異常
52
205
Particle: 微粒子：
53
206
Hole blind 盲孔
54
207
Nuisance 疊贅
55
225
Cu_loss 銅＿損失
56
226
Pits: 坑：
57
228
cluster_DVC 簇群＿DVC