問題一覧
1
當真空系統以100L/s幫浦抽真空,但因系統有漏氣使得最低氣壓停留在2×107mbar不再下降。則系統的漏氣 率約為多少?
2×10-⁵atm cc/s
2
超高真空系統,依工作底壓分類,屬於
<10-⁹ Torr
3
下列何者為真空腔體之設計要點
以上皆是
4
下列何者為真空系統的氣體來源?
以上皆是
5
為達最佳的有效系統抽氣速率,真空管路的氣導設計必須?
大於真空幫浦抽氣速率
6
下列何者為真空幫浦選用的要點
以上皆是
7
下列何種真空幫浦不適於中度真空系統?
擴散真空幫浦
8
下列何種真空計的精確度最高,不受氣體特性的影響
電容式真空計
9
下列何種為非壓力控制型的閥門?
蝶閥
10
CF(Conflat Flange)形式的真空法蘭,以不銹鋼法蘭配合無氧銅墊圈密封的方式,有什麼優點?
熱膨脹係數相近避 免烘烤後漏氣
11
真空系統欲充填乾燥氮氣破真空到一大氣壓時,以下 哪一種真空閥不宜使用?
真空門閥
12
以下材料哪一個熱導率最低?
鈦合金
13
鋁合金材料用在真空系統的優點,以下哪一個錯誤
容易銲接
14
以下哪一種幫浦的抽氣範圍最廣?
渦輪分子幫浦
15
冷凍幫浦(Cryo-pump)最適合抽何種氣體?
水氣
16
真空計若安裝在幫浦附近其測量的氣壓會受何種因素 影響?
幫浦能抽的氣體
17
真空腔以化學清洗時,以下哪一個論述錯誤?
去離子水超音波震 盪可移除殘留油漬
18
真空腔的銲接是永久接合,則銲接造成漏氣的可能原 因為何?
以上皆是
19
真空烘烤過程中最容易漏氣的時段為何
降溫
20
縮短抽真空時間,有哪些方式?
以上皆是
21
超高真空系統多為球形腔體,是因為相同容積下
表面積最小
22
低真空範圍,欲縮短抽真空時間,何者最有效?
增大粗抽管路氣導
23
粗抽管路口徑超過多少mm,即無管損問題?
300
24
超高真空範圍內,高真空幫浦抽速以何為主?
H²O
25
相同口徑下,直線閥氣導比直角閥
大
26
下列何者不是擴散幫浦特性?
使用高轉速葉片
27
下列何者不屬於封閉式抽氣機?
搖動活塞機械幫浦
28
下列何者是渦輪分子幫浦特性?
葉片在氣體排出處較密而氣體進入處較疏
29
何者非真空計常用的單位?
atm
30
何者不是選擇真空計需考慮之選項?
依照緯度高低
31
何者非低真空計
離子真空計
32
任何物質在真空中若不斷釋放出氣體或蒸氣,稱為?
釋氣
33
直徑50cm的真空腔,當氣壓為0.1mbar時, Knudsen number的大小數量級為
1
34
氣導(conductance)與氣體分子質量的關係是
開根號成反比
35
在10-⁶mbar氣壓且黏着係數為1時,真空中材料表面覆蓋一層氣體分子約需多少秒?
1
36
一真空腔暴露在一般環境下,從一大氣壓開始抽氣20分鐘後,真空中最多的殘留氣體是
H²O
37
以下哪一個幫浦可在一大氣壓抽氣?
以上皆非
38
以下哪種幫浦不僅不抽氫氣,而且還會產生CH⁴?
结托幫浦
39
真空系統由一大氣壓開始抽真空到後來氣壓下降變慢,要花十倍的時間氣壓才減為1/10,此抽氣趨勢的主要 原因為何?
腔體表面釋氣
40
在幫浦的操作上,以下敘述何者正確?
測滿時將離子幫浦OFF
41
當真空系統以500L/s幫浦抽真空,但因系統有漏氣使得最低氣壓停留在2×10mbar不再下降。則系統的漏氣率約為多少
1×10-³atm cc/s
42
超高真空所使用的Conflat金屬法蘭、金屬墊圈以及固定用的螺絲螺帽,必須耐多次烘烤而不漏氣,下述條件何者是對這幾種金屬材質的主要特性要求,必須具有相近的
熱膨脹係數
43
以下哪種金屬材料因蒸氣壓高而不適用於高真空及超高真空系統
以上皆是
44
以下哪一種材料在真空in-situ烘烤後的熱釋氣率最差 (高)?
不銹鋼
45
鋁合金材料用在真空系統有許多優點,以下哪個錯誤
以上皆非
46
真空腔的銲接最好從內部銲接,原因為何?
避免假漏
47
當真空系統要充填氣體到一大氣壓時,使用下列何種氣體破真空,可以縮短下次抽氣時間?
不含水氣成份的氮氣
48
為了降低真空腔的釋氣率,化學清洗方法是一種非常 有效的方法,以下哪一項並非化學清洗方法絕對必要 的功能?
減少表面粗糙度(增 加亮度)
49
不銹鋼CF法蘭,通常以下列哪一項為其墊圈?
無氧銅墊片
50
一般使用氦氣來測漏,下列原因何者不對?
較易操做
51
單位時間內流過真空系統中某一斷面的氣體分子數稱為
氣流通量
52
下列何者不是放氣率的單位
立方米/小時
53
評估一真空系統從起動至實際運作所需要的時間
抽真空時間
54
下列何者不是真空系統的特徵?
高真空意味著真空 壓力值很大
55
真空系統內的氣體依靠哪一個元件移除?
真空幫浦
56
下列何者不是永久氣體?
苯
57
氣體分子在運動時各個分子在碰撞其他分子前所行走 的距離的平均值稱為
平均自由徑
58
下列何者不是除氣及乾燥製程?
製程中所用的機件及襯墊等要用耐高溫材料
59
下列何者不是分子流的特徵?
氣體分子之間有互相碰撞的作用
60
物理氣相沉積薄膜設備,依真空系統分類,屬於
高/超高真空
61
未烘烤的真空系統,主要殘留的氣體為?
水蒸氣
62
為達最佳的有效系統抽氣速率, 真空管路的氣導設計必須?
大於真空幫浦抽氣速率
63
下列何者為輔助真空幫浦能大幅縮短高真空系統至極限壓力的時間
低溫水氣真空幫浦
64
下列何種非真空控制閥門?
直角閥
65
下列何者不是漏氣率的單位?
帕·米/秒(Pam/s)
66
[理想氣體定律]當抽氣達到1×10-⁶Torr氣壓時,1立方公 分(cc)體積中大約有多少個氣體分子?
300億個
67
當一個真空系統抽氣達到分子流時,氣體分子的平均自由徑長度比真空腔的尺寸
長
68
一個正方體保鮮罐,密封蓋子的長寬各10公分,內部 抽真空後,需多大的力量才能開啟蓋子
110公斤
69
以下哪個辦法可以馬上判斷真空系統有漏氣
抽氣曲線斜率偏離- 1變平(趨近0)
70
以下哪個不是決定真空系統最低氣壓的因素?
氣導
71
直徑6mm小孔的氣導約3.2公升/秒,換成直徑3mm的 小孔時氣導約公升/秒?
0.8
72
真空腔安裝一個500公升/秒的抽氣幫浦其連接管的氣導 約500公升/秒,則系統有效抽氣速率約為公升/秒?
250
73
要改善圓管的氣導,增大管內徑為兩倍,則氣導增加?
4倍
74
哪一個鍍膜方式不屬於真空鍍膜?
電鍍
75
真空系統在一大氣壓下要有最高的抽氣速率,以下那個幫浦較適合?
乾式機械幫浦
76
以下那個真空計可測量5×10-⁴mbar的真空度
冷陰極式
77
銲接真空腔體若在內外兩側都銲接密封,則容易產生那個問題?
假漏
78
一般超高真空不銹鋼法蘭接合時常用那種墊圈
無氧銅墊圈
79
真空腔採用化學清洗時,其中酸洗的目的為何
去除表面氧化層
80
那種材料不適合用於真空腔的電性絕緣?
鈦
81
那個幫浦不抽氦氣?
鈦昇華幫浦
82
那個真空元件不用到異質金屬銲接?
機械導引
83
真空系統中要產生電漿,以下那個元件不能少
電導引
84
真空腔設計的考慮因素,以下哪個不需要
測漏
85
當真空系統需與外界隔離維持密閉抽氣時,以下哪個 元件不需要?
機械幫浦
86
真空系統在一大氣壓下要有最高的抽氣速率,以下那個幫浦較佳?
乾式幫浦
87
以下那個不是真空腔銲接後的檢驗項目?
潔淨
88
那種材料不適合用於真空腔的電性絕緣?
銅
89
那個不是真空法蘭接合時常用的密封墊圈
Washer墊圈
90
真空系統支架只有一個定位固定點,其他支架為配合 固定,為何不能多幾個固定點?
法蘭會漏氣
91
下圖內真空符號1,2,3,4,何者是代表真空幫浦組合?
1，4
92
真空系統中要產生電漿,以下那個元件不必要?
質譜儀
93
下列何者不是抽氣速率的單位
大氣壓力,立方厘 米/分
94
下列何者是單一魯式幫浦真空能力範圍
10-¹ torr-10-²torr
95
渦輪分子幫浦構造有哪些類型
兩者皆是
96
冷凍幫浦中活性碳功能的特徵
吸附不易凝結氣體 如He, H₂等
97
那一種幫浦常用作高低真空的連接送風系統
魯氏幫浦
98
下列何者是渦輪分子幫浦特性
葉片在氣體排出處較密而氣體進入處較疏
99
下列對濺射離子幫浦之敘述何者錯誤
屬於開放式抽氣機
100
下列何種幫浦是高真空幫浦
渦輪分子幫浦