問題一覧
1
真空封合之可拆卸封合又可分為靜態封合與動態封合, 請問下列何種材料不適合應用於真空之靜態封合
不鏽鋼
2
真空系統中除永久性製程氣體例如氮、氧、氫、氫等 造成的真空負荷外,一般常見的氣體負荷為蒸氣壓包 括水或溶劑。若在一般環境下於真空系統中置入一杯 水,並開始抽真空,請問在水還沒有全部消失之前, 此時的真空值可能會是多少
25mbar
3
真空系統中材料表面氣體的釋放其原因包括表面受熱脫附,擴散作用及材料本身受激發等,下圖為典型的氣壓與抽氣時間的變化曲線,請問擴散作用會發生在哪個 階段?
c
4
真空系統造成漏氣的原因包括實漏、虛漏及逸氣.漏氣 率通常以漏氣孔漏入氣體的氣流通量來表示,其單位為:
Torr-Liter/sec
5
可以感測氣體分壓的質譜儀可用來做為真空系統檢漏 的儀器,下列何種是常用來做為真空測漏使用的氣體?
He
6
真空系統中材料表面氣體的釋放,通稱為釋氣或逸氣 (outgassing),對一般金屬材料而言,主要的釋氣來源為表 面脫附以及
擴散作用
7
物質在另一物質中因濃度不同而產生的遷移現象,在真 空壁與真空中的氣體分子濃度有一梯度分布,此時濃度梯度會驅使壁中的分子或原子遷移至表面,此作用稱為
擴散作用
8
真空系統中材料表面氣體的釋放,通稱為釋氣或邊氣 (outgassing), 請問下列何者不是影響氣體釋氣率的因素
材料密度
9
真空的定義為何
密閉容器內壓力＜一大氣壓力
10
國際真空壓力單位使用的真空單位為何
Pa
11
真空壓力的計算中,下列何者非等值換算單位
750mbar
12
當真空壓力下降,有一部分氣流轉變成分子氣流,而剩下的部分仍維持在黏滯氣流,此氣流為何種氣流?
過渡流
13
真空中,定義為黏滯氣流(Viscous Flow)的條件為何
氣體平均自由徑＜＜儀器主要尺寸
14
當氣體分子之間無互相作用,且相遇時為彈性碰撞, 碰撞作用遵循動能守恆與動量守恆定律,同時氣體分 子與容器器壁碰撞的機會較互相之間碰撞的機會為 大。以上敘述為何種氣流狀態
分子流
15
在真空抽氣系統中,何者會影響氣體流動與抽氣速率 的大小
氣導
16
真空抽氣系統中,氣體通量(Q)定義為?
每單位時間內通過固定平面的氣體量
17
對一個真空系統而言,下列何者是主要的氣體來源
以上皆是
18
下列何者為儲氣式幫浦?
冷凍幫浦
19
選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空?
乾式幫浦+擴散幫浦
20
假設在不受氣體分子影響的真空中,羽毛與保齡球何者會先落下?
同時落下
21
真空系統中,高真空所使用的真空計為下列何者
離子真空計
22
到達高真空系統(10E-6 Torr)所需的真空計組合為何
熱電耦真空計+冷陰極真空計
23
下列哪一種真空幫浦具有油氣污染的疑慮而須加設油氣捕捉陷阱
擴散幫浦
24
真空度單位的定義為何?
力／單位面積
25
抽氣速率單位的定義為何
體積／時間
26
1 Torr 的電容真空計代表含意為何
可量測的最大壓力值為1 Torr
27
波以爾定律為何?
PV=K
28
真空計主要是測量何種訊號並直接或間接得到壓力
氣體分子數目
29
下列何者為間接式量測真空計
離子真空計
30
真空幫浦中若幫浦液為油類,經長時間使用後造成油蒸氣回流的現象,可用甚麼方式改善
加裝冷凝阱
31
真空系統在抽氣過程中,下列何者氣體是以渗透過程進入真空容器中?
氫氣
32
真空系統中的抽氣過程會遇到釋氣(Outgassing),請指 出下列何者為釋氣?
從真空容器內部跑出氣體
33
下列何者不是釋氣的來源?
真空計
34
氣態之物質在一定溫度下所壓縮凝結的是
蒸氣
35
閥門在真空系統中的功能為何?
控制氣體流通
36
下列何者閥門控制方式是用氣壓的方式推擠閥門
閘閥
37
一般在需要常破真空且可重複使用的封合材料為何?
O形環
38
下列何者不是真空封合常用的材料?
塑膠
39
下列何者是超高真空系統最常使用的封合方式?
無氧銅
40
下列何者為真空系統會用的永久接合?
以上皆是
41
真空系統在不破真空的狀態下需要透過介質的引入方能驅動系統內的其他元件,謂之真空引入(feedthrough) 機械 ,下列何者不屬於真空引入?
聲音引入
42
真空腔體最常使用的材料為何?
304不鏽鋼
43
真空幫浦對真空系統抽氣,這些被抽的氣體是為氣體 負荷,下列何者不是真空系統的氣體負荷
灰塵
44
下列何者是真空系統最常使用的視窗材質
石英
45
逸氣率之SI單位為何?
Pa-m³/m²-sec
46
以下哪一種壓力範圍為高真空系統?
10-³-10-⁷Torr
47
應用於超高真空的腔體設計,一般是甚麼形狀居多
圓形
48
半導體設備常用叢集式(clustered system)的製程腔體中 ,哪一個腔體是連接大氣與真空的?
基板載入／出室
49
一般應用於真空系統視窗的材料為何?
石英
50
下列哪一種真空幫浦適用於粗略真空
機械幫浦
51
一般真空腔體內部需要拋光,主要是考量何種原因
減低逸氣
52
分子平均自由徑的定義為?
氣體分子兩次碰撞 之間的時間內經過 路程的統計平均值
53
當系統壓力未達背景壓力時,即會測漏,下列何者是 常用來進行中高真空測漏的方式?
氦氣測漏儀
54
何種幫浦是利用動量移轉方式將動量轉移至傳輸的氣 體上,以連續的方式將氣體由幫浦的進口傳至幫浦的出口
渦輪分子幫浦
55
如果將氣體加熱至極高溫或任其與高能量粒子相撞擊,電子可由原分子中釋出,形成一帶正負電粒子的集 合體,稱為甚麼?
電漿
56
哪一種真空計主要採隔膜式之結構,並透過隔膜受力 (壓力)之機械變形產生電容的變化且將其轉換為電子信號,再經由電子及數位電路將真空壓力感測值直接顯 示出來
電容式真空計
57
渦輪分子幫浦較適合長時間用於何種氣流狀態下
分子流
58
在實際抽氣的過程中,當真空度達到中高真空時,氣 壓下降的速率變得緩慢,主要的殘留氣體是甚麼
水氣
59
當氣體分子撞擊真空腔表面時,有機會被捕捉於表面 上形成吸附作用,其中具有較強的吸附作用為?
化學吸附
60
真空系統常使用低碳鋼、鋁與銅為主要材料,主要原因為何
氣體分子的滲透率 很低
61
下列何者為真空幫浦抽氣速率的定義?
氣體通量(Q)/壓力 (P)
62
當一真空系統配置了一組可抽至高真空背景的真空幫浦,而該系統的幫浦其終極壓力由何種因素決定
氣體滲透率
63
以下何者為粗略真空用的幫浦
活塞式幫浦
64
下列何者是係利用動量移轉方式(移動機械式以及高速氣流式）將動量轉移至傳輸的氣體上,以連續的方式將氣體由幫浦的進口傳至幫浦的出口?
渦輪分子幫浦
65
下列幫浦中因長時間抽氣後何者需要做"再生"的動作
冷凍幫浦
66
真空度量中,分成直接量測與間接量測,以下何者不 屬於直接量測式真空計
離子真空計
67
高真空系統在設計上常會使用基板載入室,目的為何
減少製程腔體被污染的機會
68
在射頻電漿系統中,電漿吸收射頻功率以維持放電現象,但隨著操作條件不同造成反射功率上升,因此可 以用甚麼方式降低反射功率?
可調式阻抗匹配器
69
請問下圖為何種真空計
電容式真空計
70
在高真空幫浦抽至終極壓力時,此時腔體內所存在之 氣體大多數以甚麼為主?
氫氣
71
下列何種幫浦在使用一段時間後需要做"再生"的動作?
冷凍幫浦
72
不銹鋼真空腔體在製程前,通常會加熱烘烤腔體,此 步驟是為了什麼?
去除水氣
73
下列何者不適用於轉移標準器?
機械式真空計
74
下列何者不是真空計比較校正系統的組成
以上皆是
75
真空計在開始校正前,所需校正壓力點,由低至高, 每一校正範圍至少取幾個校正點?
3
76
下列何者較不容易影響到真空計校正量測的不確定度?
以上皆是
77
高度真空(High Vacuum)的氣壓範圍為何?
10-¹–10-⁷Pa
78
超高真空(Ultrahigh Vacuum)的氣壓範圍為何?
10-⁷–10-¹⁰Pa
79
粗略真空(Low Vacuum)的氣壓範圍為何?
1atm-10²Pa
80
渦輪分子幫浦的正常工作氣流為何
分子流
81
離子真空計的正常工作氣流為何?
分子流
82
濺鍍的工作氣壓通常在那一個範圍
1-10-¹Pa
83
同步加速器之電子儲存環與分子束磊晶的工作氣壓屬 那一個範圍?
10-⁷–10-⁸Pa
84
下列哪種抽氣機組合之系統不合理
渦輪分子幫浦+濺射離子幫浦
85
高真空範圍內,以那種氣體為主?
H²O
86
以下何者為是?
真空計在真空系統 中是辨識真空度的 重要指標
87
何謂真空的定義
一容器內的壓力低 於一大氣壓
88
低真空範圍,欲縮短抽真空時間,何者最有效
增大管路氣導
89
超高真空系統多為球形腔體,其原因是,在相同的容 積下?
表面積最小
90
中度真空(Medium Vacuum)的氣壓範圍為何?
10²～10-¹Pa
91
在氣壓為10-⁴ Pa的真空環境下蒸鍍光學薄膜時,蒸鍍 原子與真空氣體的平均自由徑(mean free path)接近那個 數值?
7000cm
92
一大氣壓(1atm)以不同的壓力單位表示時,以下答案何 者錯誤
1333Pa
93
在直徑1米的真空腔中,抽真空到低於多少氣壓時氣體 分子平均自由徑大於真空腔直徑?
0.05 mTorr
94
真空系統抽氣受到抽氣管路氣導的限制,以下答案中 哪一個最嚴重
分子流
95
常溫下一根長100cm、內徑4cm真空圓管的氣導約為多少L/s?
10
96
當抽真空到分子流狀態時,氣體分子在真空腔內壁往 返碰撞運動直到進入幫浦才被抽除,此抽氣現象似乎不受幫浦抽氣速率大小的影響,稱為什麼限制
氣導
97
常溫下的真空系統中氣體分子接近腔體材料表面時的運動,應如何描述較恰當?
先吸附再脫附
98
渦輪分子幫浦抽氣靠高速旋轉的葉片對氣體分子的壓縮比來排氣,以下哪個氣體效能最低
氫氣