問題一覧
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Not found 未找到
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unknown 未知的
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small PA 小型顆粒
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water spot 水斑
5
6
Remain 殘留
6
7
Cone Defect 錐體缺陷
7
9
condense 凝結
8
10
concave 凹
9
11
Residues 殘留物
10
12
Arcing 電弧
11
13
peeling 剝離
12
14
Pattern Fail 模式失敗
13
15
Surface PA 表面顆粒
14
16
Pattern Fail PA 模式失敗顆粒
15
17
Ball Type 球型
16
18
Grease 油脂
17
19
Precipitate 沉澱
18
21
Pattern Residue 模式殘留
19
22
Cu Loss 銅損失
20
23
Damage 損害
21
24
Hole Abnormal 孔異常
22
25
Tiny Residue 微小殘留物
23
26
Ditch 溝
24
27
Flow Map Pit 流線圖凹（坑）
25
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Bridge 橋接
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Open 打開
27
30
Roughness 粗糙度
28
31
Pits 坑
29
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Pre_killer 預殺手
30
34
Acid Remain 酸殘留
31
35
Island Pits 島坑
32
36
Line-end Pits 線端坑
33
37
Pattern Abnormal 模式異常
34
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Oxide Abnormal 氧化物異常
35
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Diamond SC 鑽石供應鏈
36
40
Defocus 散焦
37
43
PR Scum 光阻殘留
38
44
Side Lobe 側瓣
39
45
Bubble 氣泡
40
47
Develop Defect 開發缺陷
41
48
Line Broken 線路斷裂
42
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BARC＿precipi 底部抗反射塗層沉澱
43
53
over Polish 過度拋光
44
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under polish 拋光不足
45
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W_Loss W_損失
46
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patnFail_LIT 路徑失敗＿黃光微影
47
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Ni PA 鎳顆粒
48
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Deep scratch 深層刮傷
49
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u_scratch U型刮傷
50
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Slurry 研磨液
51
63
BTA Residue 苯並三唑殘留
52
64
Corrosion 腐蝕
53
65
W_Recess W_凹陷
54
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Galvanic 電鍍
55
70
Flat Type 扁平型
56
71
Extrusion 擠壓