問題一覧
1
14
Pattern Fail 模式失敗
2
77
Circle Cu Loss 圓銅損失
3
11
Residues 殘留物
4
35
Island Pits 島坑
5
73
Partial Etch 部分蝕刻
6
38
Oxide Abnormal 氧化物異常
7
74
SPA Residue 水療殘留
8
62
Slurry 研磨液
9
19
Precipitate 沉澱
10
92
Tiny open 微小開口
11
27
Flow Map Pit 流線圖凹（坑）
12
100
false Counts of Layout 排列錯誤計算
13
113
PT1 Peeling PT1剝離
14
67
Galvanic 電鍍
15
17
Ball Type 球型
16
90
circle pits 圓形凹坑
17
15
Surface PA 表面顆粒
18
21
Pattern Residue 模式殘留
19
13
peeling 剝離
20
52
BARC＿precipi 底部抗反射塗層沉澱
21
108
PR SCUM by PA 顆粒引起的光阻殘留
22
85
Hump 凸起
23
10
concave 凹
24
83
Dot Line 點線
25
18
Grease 油脂
26
84
Crater 凹坑
27
43
PR Scum 光阻殘留
28
89
circle pattern Fail 圓形模式失敗
29
59
Ni PA 鎳顆粒
30
2
unknown 未知的
31
80
Film PA 薄膜顆粒
32
109
killer_Hump 殺手＿凸起
33
55
W_Loss W_損失
34
44
Side Lobe 側瓣
35
116
Egg Under Polish 拋光下的蛋殼
36
117
Non-killer Pat_weakness 非殺手型模式弱點
37
65
W_Recess W_凹陷
38
28
Bridge 橋接
39
25
Tiny Residue 微小殘留物
40
26
Ditch 溝
41
36
Line-end Pits 線端坑
42
12
Arcing 電弧
43
22
Cu Loss 銅損失
44
96
Facet 刻面
45
9
condense 凝結
46
37
Pattern Abnormal 模式異常
47
48
Line Broken 線路斷裂
48
64
Corrosion 腐蝕
49
45
Bubble 氣泡
50
16
Pattern Fail PA 模式失敗顆粒
51
99
Plate 薄板
52
60
Deep scratch 深層刮傷
53
79
Pt Remain 鉑殘留
54
24
Hole Abnormal 孔異常
55
75
Pre SPA PA 水療前顆粒
56
61
u_scratch U型刮傷
57
63
BTA Residue 苯並三唑殘留
58
72
ETC Residue 蝕刻殘留
59
71
Extrusion 擠壓
60
70
Flat Type 扁平型
61
57
patnFail_LIT 路徑失敗＿黃光微影
62
82
Hillock 粒狀突起
63
47
Develop Defect 開發缺陷
64
23
Damage 損害
65
3
small PA 小型顆粒
66
33
Pre_killer 預殺手